硅微粉的生產方法主要有：

  *，三氯氫硅法將干燥的硅粉加(jia)入(ru)合成爐中(zhong)，與通(tong)入(ru)的干燥氯(lv)(lv)(lv)化(hua)氫氣體(ti)在280～330℃有氯(lv)(lv)(lv)化(hua)亞(ya)銅催化(hua)劑存(cun)在下進(jin)行氯(lv)(lv)(lv)化(hua)反(fan)應，反(fan)應氣體(ti)經(jing)旋風分離除去雜質，再用氯(lv)(lv)(lv)化(hua)鈣冷凍鹽水將氣態三氯(lv)(lv)(lv)氫硅(gui)(gui)冷凝(ning)(ning)成液體(ti)，經(jing)粗餾塔蒸餾和(he)冷凝(ning)(ning)，除去高沸物(wu)和(he)低沸物(wu)，再經(jing)精餾塔蒸餾和(he)冷凝(ning)(ning)，得到精制(zhi)三氯(lv)(lv)(lv)氫硅(gui)(gui)液體(ti)。純度達到7個“9”以(yi)上、雜質含量小(xiao)于1×10-7，硼要(yao)求(qiu)在0.5×10-9以(yi)下。提(ti)純后的三氯(lv)(lv)(lv)氫硅(gui)(gui)送入(ru)不銹鋼制(zhi)的還原(yuan)爐內，用超純氫氣作還原(yuan)劑，在1050～1100℃還原(yuan)成硅(gui)(gui)，并(bing)以(yi)硅(gui)(gui)芯棒為載體(ti)，沉積而得多晶硅(gui)(gui)成品(pin)。

  第二，用SiO2含量大約為95%的硅石和灰分少的焦炭混合，加熱到1900℃左右進行還原。此方法制得的硅純度為97%～98%，被稱作金屬硅。再(zai)將(jiang)金屬硅(gui)融(rong)化后進(jin)行重結晶，用酸除(chu)去雜(za)質，得到純(chun)(chun)度為99.7%～99.8%的(de)金屬硅(gui)。如要(yao)(yao)將(jiang)它(ta)做成(cheng)半(ban)導(dao)體用硅(gui)，還要(yao)(yao)將(jiang)其轉化成(cheng)易(yi)于提(ti)純(chun)(chun)的(de)液體或氣體形式，再(zai)經蒸餾、分解過程(cheng)得到多(duo)晶硅(gui)。如需(xu)得到高純(chun)(chun)度的(de)硅(gui)，則需(xu)要(yao)(yao)進(jin)行進(jin)一步的(de)提(ti)純(chun)(chun)處理。

  第三， 用SiO2含量大約(yue)為95%的(de)硅石和灰分少(shao)的(de)焦炭(tan)混合，用1000～3000kVA開(kai)式(shi)電弧爐，加熱到1900℃左右進行(xing)還原。